迪尔格罗夫模型适用范围

一、迪尔格罗夫氧化模型迪尔格罗夫氧化模型

在热氧化层大于300Å的情况下，迪尔-格罗夫模型能够很好地预测氧化层的厚度。有趣的是，生长氧化层并不需要高温。事实上，硅在空气中即使在室温下也会发生氧化。一旦氧化层形成，硅原子需要穿越该层与硅片表面的氧反应，或氧分子需要通过氧化层到达硅表面并在那里发生反应。这一运动主要由扩散过程驱动。在二氧化硅中的扩散率比

二、迪尔格罗夫氧化模型费克第一定律

迪尔格罗夫氧化模型与费克第一定律紧密相关，费克第一定律指出物质的扩散速率与浓度差成正比。以下是关于费克第一定律的详细解释：费克第一定律的基本内容：物质的扩散速率与浓度差成正比。扩散速率还与物质的性质和扩散介质的性质相关，具体体现在公式中的扩散系数DO2和滞留层厚度ts1上。费克第一定律的...

三、迪尔格罗夫氧化模型费克第一定律

迪尔格罗夫氧化模型与费克第一定律在描述物质扩散方面存在直接关联。费克第一定律指出，物质的扩散速率与浓度差成正比，并且与物质的性质和扩散介质的性质相关。具体表达式为 J1≈DO2(Cg-Cs)/ts1，其中ts1代表滞留层厚度，Cg表示氧化炉中氧气分压强，可以通过理想气体定律计算得出，即Cg=n/V=Pg/kT...