在二氧化硅中添加什么杂质形成磷硅玻璃？

一、硼磷硅玻璃简介

Boro-phospho--glass，简称BPSG，是一种特殊的玻璃材料，其主要成分是掺杂了硼元素的二氧化硅(SiO2)。这种玻璃的独特之处在于，它可以通过化学气相沉积(CVD)工艺来制备，具体过程涉及SiH4、O2、PH3和B2H6在400℃至450℃的高温环境下反应。CVD方法赋予BPSG在高温下的良好流动性，

二、表面钝化工艺的磷硅玻璃及其生长工艺

1964年，发现硅在热氧化过程中通入少量三氯氧磷蒸汽后生成的二氧化硅膜具有磷硅玻璃特性，能捕获钠离子和稳定钠离子的污染作用，大大改善了器件的稳定性。适当增加磷的浓度还能降低膜的针孔密度，防止微裂，减少快态密度和平缓光刻台阶。磷硅玻璃已成为重要的第二层钝化膜。其不足之处是磷浓度较高时有极...

三、psg工程原理

PSG（）是磷硅玻璃的意思，在太阳能电池片的扩散工艺后，硅片表面会形成一层PSG，必须去除。扩散原理：POCl3在高温600℃下分解，产生P2O5和PCl5,然后2P2O5+5Si——5SiO2+4P，这样生成的P就可以扩散到硅片里，实现P掺杂。在扩散中，我们还比通入足够的氧气，这样PCl5和氧气反应，生成P2...

四、二氧化硅的使用方法和配置

不溶于酸，但溶于氢氟酸及热浓磷酸，能和熔融碱类起作用。自然界中存在有结晶二氧化硅和无定形二氧化硅两种。二氧化硅用途很广泛，主要用于制玻璃、水玻璃、陶器、搪瓷、耐火材料、气凝胶毡、硅铁、型砂、单质硅、水泥等，在古代，二氧化硅也用来制作瓷器的釉面和胎体。一般的石头主要由二氧化硅、碳酸钙构成。

五、二氧化硅高温下会呈现什么结构

常见的浓磷酸（或者说焦磷酸）在高温下即可腐蚀二氧化硅，生成杂多酸，高温下熔融硼酸盐或者硼酐亦可腐蚀二氧化硅，鉴于此性质，硼酸盐可以用于陶瓷烧制中的助熔剂，除此之外氟化氢也可以可使二氧化硅溶解的酸，生成易溶于水的氟硅酸。二氧化硅化学性质比较稳定，酸性氧化物，不跟一般酸反应。氢氟酸跟二氧化硅...

硅石矿在实际中都用于哪些地方

硅石矿用途广泛。在玻璃工业中，是制造平板玻璃、瓶罐玻璃等各类玻璃制品的重要原料，能提供玻璃所需的二氧化硅成分，保证玻璃的透明度、强度和化学稳定性。在冶金行业，硅石矿常作为熔剂使用。在炼钢过程中，加入硅石可与矿石中的硫、磷等杂质反应，生成炉渣，从而去除杂质，提高钢的纯度和质量。耐火材料领...

二氧化硅主要性能

砂状二氧化硅则是细小的石英晶体，有黄砂（含铁杂质）和白砂（杂质少）之分。二氧化硅的结构特殊，硅原子与四个氧原子形成共价键，形成正四面体结构，其简式SiO2表示硅和氧的原子比例。二氧化硅的物理性质极为稳定，其Si-O键的键能高，导致其具有较高的熔点（1723℃）和沸点（2230℃），折射率大约为1....

石英玻璃和高硼硅玻璃的区别,能混用吗

石英玻璃和高硼硅玻璃在成分、耐温性能以及用途方面存在显著差异，因此不能混用。首先，成分上，石英玻璃主要由二氧化硅组成，其含量高达99.99%，而高硼硅玻璃的成分包括氧化钠、氧化硼和二氧化硅，其中硼和硅的含量较高，分别为12.5%至13.5%和78%至80%。其次，耐温性能不同，石英玻璃的熔点高达1700度...

多晶硅产业中会用到哪些工业气体

锗烷（GeH4）同样具有剧毒性。这种气体主要用于形成各种硅锗合金，以满足电子元器件制造的需求。在化学气相淀积过程中，它可以将金属锗转化为不同的硅锗合金。磷烷（PH3）亦为剧毒气体，主要用于硅烷外延的掺杂剂，促进磷扩散，并作为杂质源。它还应用于多晶硅化学气相淀积、GaP材料外延、离子注入工艺以及...

表面钝化工艺的概述

这第三层介质膜可以是磷硅玻璃、低温淀积二氧化硅、化学气相淀积氮化硅、三氧化二铝或聚酰亚胺。这种多层结构钝化，是现代微电子技术中广泛采用的方式。对于钝化层的基本要求是：能长期阻止有害杂质对器件表面的沾污；热膨胀系数与硅衬底匹配；膜的生长温度低；钝化膜的组份和厚度均匀性好；针孔密度较低以及...